儀器特點：

稀釋氣質量流量計可控制到0-10SLM；

源氣質量流量計可控制到0-100SCCM；

2路校準口入口和1路吹掃口；

1路稀釋氣入口，3路輸出口和1路排空口；

42個按鍵薄膜鍵盤；

8位數字輸入/輸出，1路串行輸出；

彩色大屏顯示，

性能參數：

稀釋入口：1路標準；

源氣入口：1路標準，1路吹掃；

稀釋流量：0-10SLM(0-20SLM可選)；

源氣流量：0-100SCCM（0-2SLM可選）；

流量精度：<1%FS；

流量重復：<±0.15%FS；

線    性：<±0.5%FS；

入口壓力：12-35PSIG；

集成輸出：3路輸出，1路放空（1路滲透端可選）；

操    作：42按鍵薄膜鍵盤手動輸入或外接鍵盤；

校準定義：20個工廠配置流路，每個流路可zui大20個線性點；

校準類型：稀釋氣，臭氧，GPT；

氣體定義：1路稀釋氣，20路源氣；

自動校準：可驅動20路定時程序，用戶可自定義；

數字輸入/輸出：可使用觸點觸發或TTL邏輯控制的8位校準功能；

通    訊：RS232,以太網TCP/IP可選；

溫    度：5-40℃；

外形尺寸：156mm（H）×364mm(W)×316 mm (D)；重    量：8.6kg；

電    源：98-264VAC，100VA，50/60HZ。